ESDP幹式螺杆真空泵

ESDP幹式螺杆真空泵使用了獨特的螺杆轉子型線,動力節省30%,排氣溫度低,工藝穩定,此産品适用于各種領域的真空工藝,也維持了最佳的真空效率和耐用性。

ESDP系列不使用油和水,用可變壓縮方式操作,水蒸氣和液态混合工藝,非常适合幹燥,溶劑回收,化工,制藥,塑料等各種真空工藝。

優點特征:

  • 吸入效率(提升15%)。
  • 排氣效率改善(2級可變,連續可變頻率)。
  • 極限壓力:1*10-2Torr(托)。
  • 排氣溫度降低50%。
  • 電力消耗減少30%。
  • 不使用油和水,不會造成油和水的污染。
  • 低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運行。
  • 設計結構簡單,易保養,維修費用低,沒有易損件,壽命長。
  • 适用範圍廣,具有高真空性能。
  • 使用壽命長,氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金塗層。
  • 不采用機械密封,密封部件無污染,不會因污染而頻繁發生故障。
  • 前後采用稀有潤滑方式,提高軸承耐用性。

标準配件:

  • 基座和防護罩
  • 排氣消聲器及進氣分離器
  • 吸氣口
  • 止回閥
  • 真空計

可選配件:

  • 吸濾器
  • 排氣冷凝器
  • 吸入式氣液分離器
  • 流量開關及溫度開關

ESDP幹式螺杆泵的應用範圍:

  • ESDP系列在半導體合成及液晶生産上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉澱(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生産蝕刻制程和生産TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
  • 在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
  • 制藥行業,用于藥物的真空幹燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
  • 化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
  • 工業排氣;集中式真空處理系統
  • 擠出機的混合工藝及闆材的排氣工藝
  • 混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生産中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物
  • 食品行業用于香料、香精濃縮,食品包裝等。

技術參數:

型号 抽氣量 極限
壓力
電機
功率
轉速 進氣 排氣 冷卻
水量
噪聲 重量
M³/h Pa KW rpm mm mm L/min dB Kg
ESDP320 260 1.33 7.5 2900 65 50 10 80 320
ESDP430 360 1.33 11 2900 65 50 12 80 380
ESDP650 540 1.33 15 2900 80 65 12 80 580
ESDP900 750 1.33 18.5 2900 100 65 20 80 680
ESDP1500 1400 1.33 37 2900 125 80 30 82 950